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苏哲看着惊呼的众人,脸上露出了笑容。
此时此刻,牛光辉和司文博两人也是异常的兴奋。
两人看着大屏幕上两组加工镜片的检测数据,知道这次是稳了。
“不错不错!
这样的结果才是我愿意看到的,这下大家也不用猜了,都能安心了。”
牛光辉笑着说。
“的确!
两组能有这样的检测数据,说明了DYN-离子束抛光技术的稳定性。”
司文博肯定的说,“老牛!
要是你们搞的等离子体EUV光源突破了就好了,那我们造出来的EUV光刻机就有竞争力了。”
“我也想啊!
我们研究团队……”
牛光辉还没说完,站在台上的包正义拿着话筒又喊了起来。
“各位注意了,这两组的检测的结果还有提升空间,DYN-离子束抛光技术在理论上,镜面精度能够达到0.06纳米的面型精度峰谷值和10皮米的表面粗糙度。”
“有了DYN-离子束抛光技术,我们就能进军高端光学镜头市场了,最典型的就是EUV光学镜头,最为……”
苏哲听了一会儿,发现和范晓明说的一样,开始展望未来了。
牛光辉和司文博两人笑了笑。
“老牛!
我们继续。”
司文博笑着说。
“好!”
牛光辉继续说等离子体EUV光源的问题。
苏哲一边听着,一边在脑中快速的计算着。
牛光辉相关的参数说的很详细,也点出了问题的所在,及锡滴在大功率波长10.6微米红外光的照射下会出现不稳,导致的结果是无法获得波长13.5纳米的紫外光。
听完这些,苏哲没在听牛光辉和司文博两人的讨论了,自顾自的在大脑中计算起来。
说来也巧,这等离子体EUV光源产生的原理和他研究的ZGZ-原子振动模型有点关系。
他们大的框架是一样的,及原子在特定的状态下吸收了特定波长的电磁波,从而释放了波长特定的电磁波。
相对来说,ZGZ-原子振动模型是个特列。
苏哲有了搭建ZGZ-原子振动模型的经验,计算EUV光刻机使用的EUV光源的速度要快的多。
先是计算出锡原子的状态信息,接着是计算锡原子在吸收波长10.6微米红外光后的反应……
慢慢,锡原子吸收波长10.6微米红外光,释放波长13.5纳米的紫外光的模型出现在他的脑海中。
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